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Erfindung
Russische Föderation Patent RU2076467

INDUCTION Durchflusserhitzer

Name des Erfinders: Brailovsky Vladimir Borisovich; Braynes Alevtina Samuilowna; Kalachev Vladislav Viktorowitsch; Ryschkow Anatoly Yefimovich
Der Name des Patentinhabers: Brailovsky Vladimir Borisovich; Braynes Alevtina Samuilowna; Kalachev Vladislav Viktorowitsch; Ryschkow Anatoly Yefimovich
Adresse für die Korrespondenz:
Startdatum des Patents: 1993.02.15

Verbrauch: chemische, biologische, Mikroelektronik-Industrie zu hochreinen chemischen Umgebungen erhitzt, hochaggressive Flüssigkeiten halten. Die erfindungsgemäße Induktionsheizung umfasst ein Gehäuse, eine Induktionsspule, die Wärmeübertragungselement, bestehend aus einem Heizrohr in einer Schutzhülle aus monokristallinem Korund platziert. Die relative Position der Heizeinrichtung und Befestigungselemente können die Zuverlässigkeit der Arbeit zu verbessern.

BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG

Die Erfindung betrifft elektro, insbesondere auf die Struktur und das Herstellungsverfahren von Induktionsheizern Flüssigkeiten und Gasen und kann in der chemischen, biologischen und Mikroelektronikindustrie strengen Anforderungen hinsichtlich der Erhaltung von hoher chemischer Reinheit und sehr aggressiven Umgebungen erwärmten Lösungen verwendet werden.

Bekannte Induktionsheizvorrichtung design [1], die aus einem Glasrohr besteht, in dem eine große Anzahl von Metallrohren in einem Bündel verbunden ist , durch welche die Flüssigkeit fließt. Außenseite des Rohres Glas um die Hochfrequenz-Induktionswicklungen angeordnet sind, die durch Durchleiten eines Stroms Strahlmetallrohre in einem Glasrohr erhitzt werden. Das Fluid durch das Metallrohr hindurchgeht, auf die gewünschte Temperatur erhitzt.

Ein Nachteil der beschriebenen Konstruktion besteht darin , dass die erhitzte Flüssigkeit in Kontakt mit den Metallrohren und in der Gegenwart von Korrosionsmitteln in die Lösung , die Metallionen eintreten kann, von der das Rohr und den Dauerbetrieb in feindlichen Umgebungen (Säuren, Laugen, etc ..) führt zu einer starken Löse Metallen.

Wird als Prototyp des Fluid Induktionsheizvorrichtung Design ausgewählt [2], die durch die Induktionsspule bedeckt von einem Körper besteht und im Inneren des rohrförmigen Wärmeemissionselement auf der Achse montiert ist . Gehäuse wärmeabgebenden Element aus chemisch resistentem Einkristall an der inneren Oberfläche mit Abstand von ihren Enden angrenzend an die Heizeinheit hergestellt, hergestellt in der Form von Teleskopzylinder mit einem leitenden Material verbunden ist, um die Schlitze zu bilden. Inzisionen Zylinder in diametral entgegengesetzte Richtungen und der Länge des inneren Zylinders angeordnet ist, gewählt, kleiner als die Länge an der Außen.

Ein Nachteil der beschriebenen Konstruktion besteht darin , dass es als ein Blatt Heizanordnung Molybdän gilt verwendet wird, die bei Raumtemperatur durch die Bildung Heizelementen geschnitten Elastizität ausreicht , um einen elektrischen Kontakt zwischen den verschachtelten und Teleskopzylinder erhalten hat. Jedoch längeres Erhitzen des Metalls auftreten Annealing und Umkristallisation. Wenn die Elastizität verloren, den elektrischen Kontakt zu verschlechtern, was zur Bildung von lokalen heißen Stellen führen und ändert seinen elektrischen Parameter. Wenn ferner Molybdän Heizeffizienz verwendet, ist aufgrund seiner geringen Leitfähigkeit verringert. Damit hat sie die hohen Kosten und die Knappheit gegeben.

Die Erfindung zielt darauf ab , die Zuverlässigkeit der Induktionsheizung für hochaggressive Flüssigkeiten, Schmelzen und Dämpfen zu erhöhen (Säure, Alkali, Alkalimetalle und andere.).

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß das Heizelement ein Rohr ist und die Schutzhülle in der Form einer Tasse, ein Rohr an einem Ende mindestens drei metallischen , elastischen Platte getragen, um einen Spalt mit der Innenfläche der Hülle zu schaffen, ist das zweite Ende des Rohrs mit Korund liner verbunden abdichtend verbunden Glasfasermantel, mit einer Glasauskleidung und aus einem Stück und haben die gleiche Kristallorientierung hergestellt.

Die beschriebene Konstruktion der Heizung wird durch das folgende Verfahren hergestellt. Einmal hergestellt Rohr Heizelement aus elektrisch leitfähigem Material monokristallin, rohrförmigen Umhüllung aus Aluminiumoxid Schmelze (Korund) erforderliche Länge mit einem Innendurchmesser größer als der Außendurchmesser des Heizelementes Rohr gewachsen nach dem Boden zaraschivayut aus wachsenden Rohr spezifizierter Größen vorbei zu ein massiver Stab mit dem gleichen Außendurchmesser, dann monokristallinem röhrenförmige Hülle mit verstärktem Boden lösen aus der Schmelze abgekühlt, geschnitten aus dem unteren Teil des festen Korund Stange und erzeugen daraus geformten Auskleidung, wobei die eine Hand reduzieren seinen Durchmesser und ist mit dem Heizelement angebaut und auf der anderen Seite mit einem abdichtend verbunden rohrförmigen Abschnitt Glasfaserhülle, indem sie zuerst in einem Wärmeübertragungselement Plazieren an das Ende der Federstützen befestigt.

INDUCTION Durchflusserhitzer INDUCTION Durchflusserhitzer

Fig. 1 ist eine schematische Schnittansicht der Vorrichtung in Fig. 2 geschnitten A - A in Fig. 1.

Das Gehäuse 1 aus monokristallinem Korund in Form einer röhrenförmigen Schale mit einem Boden, der zwei leitende Metallrohr 3 mit einem Zwischenraum untergebracht zwischen dem Gehäusekörper 1 und dem Rohr 2, das mit einer Federstütze versehen ist, 4. Sealing gelötet 5 Korund Glasfaserauskleidung 6, die mit beiden verbunden ist, leitfähige Metallrohr 2 Heizung. Die Heizeinrichtung 7 ist in einer Halterung fixiert und platziert in die Rohrleitung 8, durch welche die aggressive Flüssigkeit 9 für die Heizung gepumpt. Erwärmung erfolgt durch die Bereitstellung von wärmeleitenden Rohrs mit Induktionsheizung durch einen Strom durch die Hochfrequenzinduktionsspule Wicklungen vorbei 10. Die Auskleidung 6 aus dem Kernteil des verdickten Boden Einkristall gezüchtet wird die gleiche kristallographische Orientierung eines rohrförmigen Teil des Gehäuses abgeschnitten, wie seine Fortsetzung . Da die Auskleidung wird die gleiche Orientierung wie in Löten haben nicht Stress auftreten, die die Struktur zerstören kann. Ferner kann, da die Auskleidung die gleichen Durchmesser wie der rohrförmige Abschnitt der Hülle hat, ist nicht für die Bearbeitung der Außendurchmesser der Auskleidung erforderlich. Auf einer Seite der Einlage und reduzieren den Durchmesser durch daran einen Rohrheizkörper befestigt Walzen. Danach wird die Heizung in die Hülle eingeführt und die gegenüberliegende Seite des Einsatzes ist hermetisch mit dem rohrförmigen Teil des Glasfaserschale verlötet. Brazing erfolgt in einem Vakuum oder Schutzgasatmosphäre. Nach dem Schmelzen im Inneren der Schale Glasfritte und Erstarren wird ein Vakuum oder einer inerten Atmosphäre zur Verfügung gestellt. Am Ende gegenüber der Unterlage wird der Heizer auf eine flache Außenfläche tangential Schale 3 elastischen Platten Juni, die einen gleichmäßigen Spalt zwischen dem Heizelement und dem Aluminiumoxidschale bereitzustellen verschweißt. Wenn das Metallrohr erhitzt wird, wird sie verlängert werden, sondern als elastischen Platten haben einen festen Sitz, Stress tritt nicht auf, und eine hohe Haltbarkeit bietet.

Die vorgeschlagene Konstruktion wird vollständig die Heizung fließt korrosiven Umgebung zu isolieren und von Metallionen zu befreien, die die Heizung Wärmeübertragungselement bilden, in einem beheizten Raum, während die Leistung und Zuverlässigkeit zu verbessern.

Die Lebensdauer des Gerätes war signifikant höher als bisher eingesetzt. Darüber hinaus gibt es ein hohes Maß an Reinheit des Mediums nach dem Erhitzen.

Die beschriebene Vorrichtung Aufbau wurde in Industrieanlagen in der Herstellung von ICs hoher Integrationsgrad erfolgreich getestet.

FORDERUNGEN

Induktionsheizvorrichtung Flüssigkeit bedeckt einziehbare Körper auf der Achse des Wärmefreisetzungselement in Form eines Heizelementes aus einem elektrisch leitenden Metall montiert, die in einem versiegelten Schutzhülle aus chemisch resistentem Einkristalls angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Heizelement ein Rohr ist und die Schutz Schale in einem Glasrohr an einem Ende mindestens drei elastische Metallplatten, wodurch ein Zwischenraum mit der inneren Oberfläche der Schale getragen wird, ist das zweite Ende des Rohrs mit Korund liner verbunden abdichtend an der Schale steklotsementnom verbunden ist, wobei das Glas und der Einsatz aus einem Stück hergestellt ist und die gleiche kristallographische Orientierung.

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Erscheinungsdatum 08.12.2006gg